线阵CCD小幅角位移实时检测系统

摘要

本文首先提出了由线阵CCD及其驱动装置、光学成像系统、单片机信号处理电路、以及上位机数据处理系统构成的,可在一定范围内实现在线高精度角度测量系统,并对其组成部分和测量原理进行了详细的介绍。并对在连续光照射下系统的实时检测误差进行了理论分析,给出了最终的实验数据和结果,证明效果良好。测角精度优于0.01°,该系统特别适用于各种小角度偏移的检测场合。