基于PLC的MOCVD控制系统设计

摘要

针对MOCVD系统工艺的要求,设计了一种基于PLC的MOCVD计算机控制系统。本文从系统的组成、实现原理和软件设计等方面做了介绍。采用可编程控制器作为其核心控制系统,提高了系统的自动化程度,保证了系统运行的可靠性,灵活性。