GTGM在三维形貌测量中的应用

摘要

传统的傅立叶轮廓术(FTP)技术,在当测量的三维目标的表面斜率变化比较大或者表面结构比较复杂的条件下,光栅图像的一级频谱常于其他频谱发生混叠.本文引入了窗口傅立叶分析技术(GTGM),进一步完善了傅立叶轮廓术的实际应用能力.通过采用窗口傅立叶变化技术(GTGM),选择适当的窗口并提取一级频谱,对混叠区域进行重新叠加,重新构建出全部的一级频谱,提高了测量分析的精度.