基于PC的LED外延片无损检测扫描系统

摘要

介绍了对新型发光二极管外延片光致发光系统的改进,以VC.net为语言工具编制软件,对发光二极管外延片关键性能参数的测量结果进行分析。增加了薄膜厚度测量的性能,完善了测量系统的功能。基于PC的检测系统智能化、自动化,实现了对LED外延片的无损、快速、准确的在线扫描测量。