厚膜混合集成电容式加速度计

摘要

设计了电容式加速度计的信号检测电路,与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试,并进行了标定.为减小体积,提高电容式加速度计的检测精度,采用厚膜混合集成工艺,将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体,并进行了电路测试和性能测试.测试数据表明,其测试精度提高了一个数量级,线性度和温度特性均有很大的改善.