集成电路的互连线材料及其发展

摘要

集成电路(Integrated Circuits)的快速发展,导致对互连线的材料要求更高,互连线的问题成为了集成电路的研究热点。尤其是当电路的特征尺寸越来越小的时候,互连线引起的各种效应是影响电路性能的重要因素。本文阐述了传统金属铝以及合金到现在主流的铜以及正在发展的新型材料——碳纳米管作为互连线的优劣,并对新型光互连进行了介绍。