超声楔焊金属键合物形成机理研究及模型构建

摘要

超声楔焊金属键合物的形成对半导体器件焊接质量至关重要,为分析金属键合界面形态演化及焊接参数对金属键合物形成的影响,研究了超声楔焊金属键合界面的形态,以及不同焊接参数对键合物形成的影响,分析了金属界面形态及键合物的形成机理,并给出了理论模型。实验表明:界面形态和键合物的形成与焊接参数功率、时间和压力有关,该理论可用于超声楔焊质量优化。