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张克铮;
辽宁石油化工大学,石油化工系,抚顺,113001;
多孔质玻璃; 膜; 反应器; 耦合;
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机译:使用新型PECVD多孔低k电介质膜的90nm代Cu / Lk(k = 2.5)镶嵌的基本集成度和可靠性
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机译:在多孔基材上的溶胶 - 凝胶衍生的陶瓷电解质膜。
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