微机械构件振动模型建立及其动力学分析

摘要

微电子机械系统中的微构件如定子、转子,结构尺寸微小,一般在数百微米量级.制造微构件的材料主要是硅,硅具有优良的机械性能,能够满足微结构对材料力学性能的要求.机械(力学)理论基础如弹性体基本方程、运动学方程、动力学方程、弹性梁基本方程、振动理论等对微构件依然适用.笔者对一种新型微电机的驱动机理进行了研究.基于振动学理论,建立了微机械构件的振动数学模型,计算了自由振动固有频率以及推导出激励下的振动方程,并在此基础上进行了运动学和动力学分析.