退火时间对Cu-Al-O薄膜性能影响的研究

摘要

通过制备Cu-Al-O薄膜并对其进行退火处理,研究了退火时间对薄膜形貌、结构以及紫外-可见透过率、带隙、中红外透过率的影响.研究结果表明:随着退火时间的增加,薄膜开始晶化,5.0h时薄膜中出现裂纹,同时出现AlCu合金相；紫外-可见透过率随退火时间的增加而降低；中红外透过率随退火时间的增加先增加后降低；Cu-Al-O薄膜的直接带隙随退火时间的增加而降低.