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化学气相沉积TiN技术在模具表面强化中的应用研究

             

摘要

介绍了在模具表面上化学气相沉积TiN涂层常用的几种方法,分析了各种工艺的特点、关键技术参数及其应用对象,指出了模具表面气相沉积TiN技术的发展方向.

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