纳机电系统的阻尼特性

摘要

简要介绍了几种对纳米谐振梁的能量耗散有显著影响的阻尼机制,以及相关的研究结果.随后,给出了与纳米梁相关的几种振动理论,并分别用它们对振动过程作数值模拟.根据Langmuir单层吸附理论和统计热力学原理,着重研究气体分子在谐振梁表面吸附、解吸附的动态过程中所损耗的能量,然后从品质因数Q的定义出发,研究了吸附解吸附过程对纳机电谐振梁品质因数的影响.结果表明Q值随压强的增大而减小,且与梁的尺寸直接相关.