显微镜自动对焦系统的设计

摘要

针对显微镜手动调焦复杂,较难得到最佳状态下的图像的现状,提出了一种自动对焦系统.该系统既可以实现X轴、y轴的单独运动,也可以实现X轴、y轴的联动控制,调焦电机控制检测平台Z方向的移动以达到对焦的功能.该系统通过步进电机控制器进行精确控制,其X-Y定位精度达到0.002 mm,对焦定位精度为25 nm.通过大量实验,表明该系统能可靠运行,可为类似应用提供一定参考.