我国超精密光学零件加工技术跨入世界领先行列

摘要

由国防科技大学机电工程与自动化学院自主研制的新_一代超精密光学零件加工设备，日前通过相关单位组织的工艺考核。结果表明，该套设备加工精度实现亚纳米级重大突破，其典型试验件的光学零件面形精度RMS（均方根）值达到O．361纳米，标志我国超精密光学零件加工技术跨入世界领先行列。超精密加工技术是先进装备制造的关键性瓶颈技术，纳米精度被誉为超精密加工技术“皇冠上的明珠”。