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超精密气磁轴承主轴系统的技术发展

         

摘要

介绍了几种用于超精密机床的精密轴承主轴系统,着重介绍了超精密气磁轴承主轴系统的研究水平及在机床中的技术发展.设计了一种用于试验研究且更加有效的超精密气磁轴承主轴系统.

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