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张全才; 姚作林;
牡丹江技师学院,黑龙江,牡丹江,157011;
高速车刀; 精车; 表面粗糙度; 切削速度; 走刀量; 背吃刀量;
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机译:使用波前相位成像技术测量硅晶圆的粗糙度和纳米形貌:整个晶圆的高速单幅图像快照,产生亚纳米形貌数据
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