多轴双光子聚合加工系统综合误差建模

摘要

针对所研制中的一台多轴双光子加工系统,通过齐次坐标变换建立了激光束焦斑中心与试件期望位置之间的综合误差模型.假定对各个运动轴误差及光路系统的误差服从非平稳概率分布,考察了各个运动轴误差及光路系统误差对综合误差的影响.为主动补偿多轴双光子聚合加工系统的综合误差、提升多轴双光子聚合加工系统的工作精度提供了依据.