采用MENS技术的湿度传感器

摘要

湿度传感器厂商美国Hygrometrix采用MEMS技术的湿度传感器已达到实用水平。通过MEMS构造检测基于湿度的聚合物薄膜的收缩，感应芯片通过在2mm见方的正方形硅芯片上打孔，形成了4个悬臂（Cantilever）。各悬臂采用将正方形的外周作为固定部分、以中心作为可移动部分的结构。