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肖奇军; 陈文元; 崔峰; 李胜勇; 黄晓刚; 邵珰珰;
上海交通大学微纳科学技术研究院,上海,2000130;
广东肇庆学院电子信息工程系,广东肇庆,526061;
微陀螺 ; 微位移检测; 信号发生器 ; 锁相放大器 ;
机译:使用UV-LIGA技术的静电悬浮微陀螺仪的设计和制造
机译:非理想因素对液体悬浮转子微陀螺仪电容率的影响
机译:用于悬浮质量微陀螺悬浮硅微观结构的预埋掩模湿法蚀刻
机译:静电悬浮转子微陀螺初始悬浮的虚拟样机仿真
机译:磁悬浮轴承转子动力学系统的多目标优化设计
机译:静电悬浮微机械自转转子陀螺仪偏置漂移的分析与补偿
机译:非理想因素对液悬浮转子微陀螺中电容介电常数的影响
机译:Cloverleaf微陀螺仪具有静电校准和调谐功能
机译:磁悬浮转子电机系统中信号排斥转子悬浮转子电机的形成方法及其实现装置
机译:风轮机转子的设计方法,风轮机转子的设计支持装置,风轮机转子的设计支持程序和风轮机转子的设计
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