模糊PI控制在真空蒸发镀膜中的应用

摘要

针对真空蒸发镀膜工艺过程的非线性、时变,溅料问题难以控制的特点,在传统的PI控制基础上引进模糊箅子,采用模糊PI的控制方法,发挥了PI控制结构简单、适用性强、稳态无误差等优点和模糊控制可以有更快的响应和更小的超调,对过程参数的变化也不敏感,具有较强的鲁棒性,可以克服非线性因素影响的优点,在镀膜工艺中取得了较好的控制效果,并可以推广到同行业和相关领域.