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如何用薄膜干涉法判定平面的凹凸

     

摘要

薄膜干涉是薄膜的前后两表面的发射光形成的干涉·它的主要应用之一是检查平面的平整程度·其检查精度可达10-8m·一、原理把一个标准样板放在待检查平面的上面,

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