双层辉光离子渗金属中W—Mo合金供给源的研究

摘要

研究了双层辉光离子Ｗ－Ｍｏ共渗时，提供合金元素的Ｗ－Ｍｏ合金源极的表面成分和形貌变化，结果表明：在氢离子的轰击下，Ｗ－Ｍｏ合金源极表面存在的明显的择优溅射，在稳定态达到之前有一定的过渡期，并最终形成一定成分范围的微循环择优溅射。