微弧氧化生成钛酸盐系铁电薄膜研究

摘要

为开发新的铁电薄膜制备工艺,需将Ti板微弧氧化.采用Ba(OH)2、Ba(CH3COO)2、BaCl2、Ba(OH)2+Ba(NO3)2及Pb(CH3COO)2对Ti板进行微弧氧化试验,并对生成的薄膜进行物相组成和显微形貌的分析.结果表明:Ti板在BaCl2、Pb(CH3COO)2及Ba(OH)2+Ba(NO3)2中不发生微弧氧化,在Ba(OH)2、Ba(CH3COO)2中发生微弧氧化.薄膜主要由BaTiO3相构成,表面散布着很多微孔,薄膜厚度均匀.根据实验结果,可以得出微弧氧化生成铁电薄膜对溶液成分的要求和发生反应的电流-浓度区间,以及工艺参数的选用原则.薄膜在1 kHz频率下的介电常数为112.