位置灵敏探测器在场离子显微技术中的应用

摘要

将位置灵敏探测器与场离子显微镜结合,可以得到数字化场离子像。数字化场离子像具有与常规场离子显微像同量级的原子级分辨率,然而由计算机获取、显示、存贮、提取图像,使用起来非常方便。将数字化场离子像与位置灵敏原子探针结合使用,可以得到空间特定位置的材料超微区成分分析。本文具体介绍了数字化场离子像的获取,分辨率和实际应用。