紫外透射型液晶光阀用ZnS_xSe_(1-x)薄膜的研究

摘要

描述了透射型ZnSxSe1 -x光盲紫外液晶光阀的结构和工作原理 ,并从器件的电学模型出发 ,着重讨论了整体器件对ZnSxSe1 -x光敏层的特殊要求。采用分子束外延技术在ITO石英导电玻璃上制备了不同组分的三元ZnSxSe1 -x多晶薄膜 ,通过控制反应时的生长参数 ,制备出了符合器件设计要求的光敏层薄膜。室温下 ,薄膜的紫外 可见光响应对比度大于 10 3,响应波长截止边可通过控制薄膜中的Se组分 ,在 36 0～ 4 10nm范围内连续可调 ;薄膜的紫外 可见光吸收系数比大于 10 3;在液晶光阀工作的低频段 (<2 0 0Hz) ,其暗阻抗在 10 5～ 10 6 Ωcm2 之间 ;暗