二氧化锡薄膜的制备,特性及应用

摘要

自七十年代中期以来,对二氧化锡薄膜及其应用的研究日益受到重视。本文综合介绍了二氧化锡薄膜的制备工艺,纯净和掺杂二氧化锡晶体薄膜的基本性质和在各种领域中的应用。