立方氮化硼（c—BN）膜的制备,性能及应用

摘要

本文综合分析了立方氮化硼膜的制备方法，介绍了ｃ－ＢＮ膜的结构及其机械、电学、光学和热学性能，最后总结了ｃ－ＢＮ膜在机械和电子领域的应用概况。