半导体器件生产车间通风洁净空调系统节能分析

摘要

cqvip:随着国内半导体器件技术不断发展和广泛应用,使得洁净车间空调系统的节能成为关注和研究的焦点问题.通过对半导体器件生产车间空调系统的特点进行了分析,并以某工程为例,说明该类空调系统能耗大的现状.在此分析基础上,从将室外新风与室内回风分离、调节减小系统送风量,利用变频技术优化控制系统及运行管理等方面,提出解决洁净系统运行节能的思路及措施.