直流等离子射流沉积金刚石膜晶体生长机理探讨

摘要

详细观察了与沉积条件有关的金刚石形貌变化，探讨了直流等离子射流沉积金刚石膜的生长机理。根据晶体的表面能，在碳化物上先生成金刚石八面体晶粒，而金刚石最后的生长形状是八面体、立方八面体、立方体还是其中间形式，则取决于（１１１）面和（１００）面的相对生长速度．（１１１）面可分解成（１１０）面和（１００）面，有时由于这两个面生长不平衡，就在（１１１）面上出现凹坑或宏观台阶或宏观断裂。用这个生长机理可以解释