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软化学法制备VO2热色薄膜的研究进展

         
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摘要

综述了采用软化学方法制备VO2薄膜的工艺技术特点,以前驱物的划分为主线,着重探讨了前驱物的选择、氧分压和热处理温度等工艺条件对其物相结构与性能的影响,对反应热力学进行了初步的探讨.我们认为,热处理温度和气氛的调节控制是获得单一相热色VO2薄膜的技术关键.

著录项

  • 来源
    《材料研究与应用》 |2008年第4期|465-469|共5页
  • 作者

    甄恩明; 徐雪青; 徐刚;

  • 作者单位

    中国科学院广州能源研究所,广东,广州,510640;

    中国科学院研究生院,北京,100039;

    中国科学院广州能源研究所,广东,广州,510640;

    中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室,广东,广州,510640;

    中国科学院广州能源研究所,广东,广州,510640;

    中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室,广东,广州,510640;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 O614511;
  • 关键词

    VO2薄膜; 软化学法; 制备; 热处理温度; 氧分压;

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