中科院上海硅酸盐所研发出4英寸碳化硅单晶

摘要

中国科学院上海硅酸盐研究所科技人员立足自主研发，在掌握直径2英寸、3英寸碳化硅单晶生长技术之后，近日成功生长出直径4英寸4H晶型碳化硅单晶，这标志着我国碳化硅单晶生长技术达到了国际一流水平。