金刚石基压电薄膜研究进展

杨晓朋; 宋平新; 王新昌; 姚宁; 张兵临

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移动通信技术的迅猛发展扩大了高频声表面波(sAw)器件的应用范围,金刚石因具有最高的声表面波传播速度而使得压电薄膜/金刚石多层结构成为高频声表面波器件的首选材料.综述了ZnO/diamond、A1N/diamond和LiNbO3/diamond多层结构声表面波特性理论研究及实验研究进展,并展望了其今后的发展趋势.

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来源
《材料导报》 |2008年第z2期|301-304|共4页
作者
杨晓朋; 宋平新; 王新昌; 姚宁; 张兵临;
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作者单位

郑州大学;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
压电薄膜; 金刚石; 声表面波;

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