全方位离子注入技术的工业应用

摘要

“全方位离子注入技术的工业应用”课题,“九五”期间主要完成了PSⅡ-IM工业样机改造(包括靶台的优化设计,计算机开环控制系统的完善,脉冲负高压电源的改造,磁过滤金属等离子体源引出效率的提高,平面磁控溅射靶的优化等),物理基础研究(包括有无辅助电极处理内孔表面的实验,基本确定了可处理接受范围的孔径比为2:1;基本评定了PSⅡ处理多工件及不同曲率半径工件能力的工作,开展了双元热偶动态测温法测量PSⅡ的靶台温度和多种材料高温全方位离子注入改性的机理研究)及工艺开发(YZB-5、YZB-26及YZB-38三种型号的军用航空液压泵配流盘全方位离子注入处理工艺和建立了完整的质量保证体系,某型号火箭用液压泵配流盘全方位离子注入处理工艺,基本解决了人工心脏半瓣表面改性的中间过渡层问题。