一维Si纳米材料的研究进展

摘要

基于量子限域效应，一维Si纳米材料(硅纳米线等)具有体材料硅所不具备的特异的光学、电学、机械和化学性质，在纳光电子学领域具有潜在的应用价值。通过掺杂或与其它材料的复合，硅纳米线可以用于制作纳电子器件的关键组件，既能作为功能单元也能用于器件互连。综述了硅纳米线(硅纳米管)的制备方法、生长机制、性质及应用和近年来的研究新进展。