化学气相沉积法制备钨芯SiC纤维的装置和工艺

摘要

分析比较了两种不同类型化学气相沉积（CVD）法制备钨芯SiC纤维的反应器，提出了改进方法，设计了一种立式冷壁反应器，并对用CVD法制备钨芯SiC纤维的工艺进行了研究。运用扫描电镜观察了制备纤维形貌，并用weibull统计方法分析了纤维强度与其形貌之间的关系。结果表明，在不同的氢气流量和氮气流量比下，沉积速率均随沉积温度的升高而增大。总反应在较低温度区受表面反应控制，在较高温度区受质量传输控制。纤维的断裂强度大致可分为高、中、低3个区，CVD-SiC纤维的强度与其微观形貌有密切关系，缺陷的多少决定纤维强度的高低。