固态薄膜电解质LiPON的制备及性能研究

摘要

采用Li3PO4为靶材，在高纯N2气氛中通过射频磁控溅射的方法制备了非晶态结构的固态电解质Li-PON薄膜。结果表明，在溅射功率150W、工作气压为1．5Pa时，LiPON薄膜离子电导率达3×10-6S／cm，电化学稳定窗口为5V。