薄膜体声波谐振器的研究进展

摘要

薄膜体声波滤波器作为一种发展高频滤波器的全新解决方案，比声表面波滤波器（SAWF）、陶瓷介质滤波器具有更高的Q值，低的损耗和在高频时具备更高的功率承受能力。介绍了薄膜体声波谐振器的研究历史和研究概况。薄膜体声波谐振器的原理和3种典型结构，具体阐述了薄膜体声波谐振器的关键技术及其材料体系的要求。