电子束物理气相沉积（EB-PVD）技术研究及应用进展

摘要

概述了近几年来快速发展的新兴材料加工工艺技术——电子束物理气相沉积（EB-PVD）技术的研究及应用现状，着重阐述了电子束物理气相沉积（EB-PVD）过程的主要工艺参数和制备高温合金板材显微组织的形成机理。