薄膜生长初期岛形貌转变的模拟研究

摘要

用Kinetic Monte Carlo（KMC）方法实现了（001）衬底上薄膜生长初始阶段岛形貌的模拟。在模型中考虑了原子沉积、吸附原子扩散和绕岛运动等过程，并考虑了衬底温度、沉积速率、Lennard-Jones（L-J）作用势范围等因素对生长的影响。研究了岛边缘亚稳粒子绕岛运动对岛形貌的影响。结果表明，绕岛运动越强岛形貌越趋于紧致状。模拟中发现：当绕岛能力相同时，随着衬底温度的升高，岛形貌由紧致向枝晶转变。