新型涂层Parylene薄膜表面改性研究进展

摘要

Parylene薄膜是电子产品包封和器件上不可缺少的组成部分,也是生物传感器上具有很好生物相容性的材料,还是投入应用的防护材料中最优秀的涂层材料之一.简要介绍了Parylene薄膜的优异性能,分析了其存在的主要问题,即表面化学隋性、粘接性能差,表面能有待进一步提高,指出表面改性是改善上述问题的有效途径;综述了国内外对Parylene薄膜表面改性研究的最新进展,并讨论了各改性方法的局限.