大口径溶胶-凝胶光学膜层提拉制备工艺控制

摘要

大口径溶胶-凝胶化学膜的光学性能指标主要由膜层厚度和折射率决定,提拉法制备工艺的关键技术就是对这两个参数进行精确控制。通过优化胶体制备工艺,并利用椭圆偏振法测量化学膜膜厚及折射率变化情况,获得了提拉速度模型,并进行了实验验证,为大口径化学膜高性能指标提供了技术和工艺保证。