氮离子注入金属表面的硬度研究

摘要

用N^+注入金属表面,研究了显微硬度与注入剂量D的关系。实验表明,注入后材料的表面硬度值并不随D的增加而单调增加,存在一个剂量阈值D_(th),只有用该阈值的N^+注入,才能使材料表面硬度得到最大程度的提高。另外,表面显微硬度还是负荷的函数,随着负荷的增加逐渐趋于基体的硬度值。我们用TRIM算法计算了注入后N^+的浓度分布和注入层损伤分布,讨论了它们对材料表面性能的影响。