离子注入提高冲针抗粘着性能研究

摘要

为了提高冲针粘着性能，将Ｎ＾＋注入和Ｓｉ３Ｎ４增强沉积运用于冲针表面改性处理，并作了一些探讨性分析。结果表明，Ｎ＾＋注入有利于改善冲针的抗粘着性能，提高其使用寿命。