基于单颗粒刻划的硫化锌材料去除机理研究

摘要

针对目前红外硫化锌非球面光学透镜超精密加工效率低、成本高的问题,基于单颗粒刻划仿真和实验研究硫化锌材料超精密磨削的可能性。通过仿真研究不同加工参数及压头形状对材料内部应力的影响,结合金刚石单颗粒刻划实验,观察划痕表面形貌和亚表层损伤,分析探讨材料的磨削去除机理及亚表层的完整性,结果表明:硫化锌材料可实现塑性域机械去除,亚表层损伤的主要形式为位错,且高速、细粒度的金刚石砂轮更容易获得稳定的塑性域去除。