超精密磨削光学非球曲面用中心高微调机构

摘要

文章从理论上分析了中心高微调机构对光学零件加工精度的影响。设计研制了高精度的中心高微调机构，并进行了系统标定，在２ｍｍ的调整范围内能实现０．１μｍ的精确微调。该微调机构用于超精密磨削光学非球面的中心高微调。磨削结果表明，其磨削加工的零件轮廓精度为０．２μｍ，表面粗糙度为Ｒａ０．０１μｍ。