超精密加工的发展状况及影响表面质量若干因素的分析

摘要

文章就超精密加工的应用领域进行了简述,介绍了超精密制造技术的发展状况及其发展方向,对影响超精密加工表面质量的因素进行了理论分析.指出超精密加工表面质量是由于多种因素影响形成的,提高加工表面质量的核心是降低各子集的分维数.分维数越高振动规律越复杂,其微细结构越复杂,对纳米级超精密加工表面质量影响越大.