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超光滑表面加工方法

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摘要

超光滑表面的一个最直接的评价参数就是表面粗糙度,它要求Ra≤1 nm.在这样高的要求下,传统抛光由于磨料的存在限制了表面粗糙度进一步减小,传统的机械加工已经满足不了要求.文中着重阐述了现有的超光滑表面的加工方法,对于各种方法都做了原理性的介绍及评价.

著录项

来源
《制造技术与机床》 |2006年第6期|60-62,66|共4页
作者
李宝贵; 熊昌友; 李成贵; 张庆荣;
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作者单位

北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083;

中国航空工业第一集团公司第三○四所,北京,100095;

北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083;

北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属切削加工及机床;
关键词
超光滑表面; 纳米表面; 抛光; 加工技术; 粗糙度;

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