基于MUMPS的MEMS集成设计方法研究

范真; 徐炎冰; 丁建宁

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基于MUMPS(Multi-User MEMS Processes:多用户三层多晶硅表面微加工工艺流程)表面微加工工艺,根据其工艺特征,建立工艺层库.利用Pro/PROGRAM,编写自动装配工艺层模型程序,通过自主开发的软件,将工艺层模型直接导入到MEMS版图器中,从而实现三维模型到二维版图的自动转换.

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来源
《制造技术与机床》 |2006年第4期|49-51|共3页
作者
范真; 徐炎冰; 丁建宁;
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作者单位

江苏大学机械工程学院微纳米中心,江苏,镇江,212013;

江苏大学机械工程学院微纳米中心,江苏,镇江,212013;

江苏大学机械工程学院微纳米中心,江苏,镇江,212013;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属切削加工及机床;
关键词
微机电系统; 集成设计; 工艺层模型; 版图设计;

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