微晶玻璃超光滑表面残余应力的对比分析研究

摘要

通过对微晶玻璃、陶瓷、金属3个试件进行超精密加工,使试件表面粗糙度值达到纳米级,采用非破坏性的X射线衍射sin2ψ法测量原理对不同试件的残余应力进行了测试研究.结果表明:在试验条件下,3个试件都只存在残余压应力,并且陶瓷的残余压应力最大,金属残余压应力最小.超光滑表面残余应力的研究对提高表面完整性,改善加工工艺具有重要的意义.