球面弯曲振动超声聚焦器的声场特性实验研究

摘要

利用纵弯复合振动原理及自聚焦原理设计了球面弯曲振动超声聚焦器.使用三坐标测试系统对球面弯曲振动超声聚焦器的声场特性进行测试研究.通过改变聚焦器的曲率半径以及厚度等几何参数,得出球面弯曲振动超声聚焦器的声场分布、声瓣、轴线声压、焦点位置等参数,为实现精密加工聚焦超声汽雾微量冷却提供理论指导.